空气交换器简介： KJ空气交换器用于玻璃熔窑的空气换向，其结构形式为闸板式与翻板式。闸板与闸架均由中硅耐热球墨铸铁制成，具有工作温度高，（750℃），勿需冷却即可连续工作，使用寿命长等特点，传动方式分为电动式、气动式。主要型号有：KJ1.6、KJ2.4、KJ4.0。
微晶玻璃研磨加工后的表面形貌
下图是在工具显微镜1500倍率观察下的经过固结磨料研磨加工后的微晶玻璃表面形貌，空气交换器，从中可以看出其研磨后的表面几乎全是无规则的点坑，却没有划痕，这说明微晶玻璃在研磨过程中材料的去除方式主要是脆性去除，而不是塑性去除，从而也说明了微晶玻璃属于脆硬材料，其结构属于多晶体，因此采用固结磨料研磨加工的方式非常适合。
空气交换器简介： KJ空气交换器用于玻璃熔窑的空气换向，KJ型空气交换器，其结构形式为闸板式与翻板式。闸板与闸架均由中硅耐热球墨铸铁制成，具有工作温度高，（750℃），勿需冷却即可连续工作，使用寿命长等特点，传动方式分为电动式、气动式。主要型号有：KJ1.6、KJ2.4、KJ4.0。
1.1、研磨抛光平台
研磨抛光试验在PHL-350型平面高速研磨抛光系统上进行，为了提高研磨盘的平面度，减小行为误差，马蹄焰窑炉空气交换器，通常在加工之前将研磨盘两两互研，并用刀口尺检查研磨盘的平面度，横火焰窑炉空气交换器，以保证被加工工件的表面质量。
1.2、抛光垫
抛光垫在CMP过程中具有贮存抛光液并把它们运送到工件的整个加工区域、维持抛光所需的机械和化学环境、传递材料去除所需的机械载荷等作用[1]。因此，本文采用粒度为W14的金刚石亲水性FAP作为抛光垫，以实现高质低成本的CMP加工具有重要的意义。
在线客服
13953467877
4315248@qq.com
